デンマーク初の300mmウェハ製造施設が最近開設されたことは、デンマークがヨーロッパにおける技術的自給自足を実現する上で決定的な一歩となる。POEMテクノロジーセンターと名付けられたこの新施設は、デンマーク、ノボノルディスク財団の量子チッププロジェクト（NQCP）、そしてフランスのRiber社との共同事業であり、コペンハーゲン大学のニールス・ボーア研究所内に設置されている。フォトニクスと量子チップ製造の拠点として位置づけられたこのセンターは、分子線エピタキシーなどの先端技術を統合し、技術的ブレークスルーを加速させ、デンマークおよびヨーロッパにおけるマイクロチップと量子技術のエコシステムを強化することを目指している。
「この施設のおかげで、材料生産を社内で統合できるようになり、世界中の他社に生産を委託することなく、より効率的に研究開発を進めることができます」と、NQCPのCEOでありニールス・ボーア研究所の教授でもあるピーター・クローグストループ氏は述べています。「さらに、研究開発技術を大規模生産に直接応用できるため、当社だけでなくデンマーク、そして業界全体にも利益をもたらします。」
彼はさらに、「ヨーロッパでは300mmウェハーに対する需要が非常に高い。当社はウェハーから部品を切り出して、より小さなウェハーサイズに合わせることができるため、最先端の300mm装置を持つ大手ファウンドリや小規模ウェハー製造工場に迅速に材料を供給できるだろう」と述べた。
POEMテクノロジーセンターは1年以内に本格稼働する予定で、その時点でシリコンおよびシリコン・オン・インシュレーター（SOI）ウェハーの量産を開始する。クローグストルップ氏らは、リバー社の先進的なエピタキシャル技術を用いて、光電子検出器、送信機、導波路（フォトニックプラットフォームや複雑な量子回路を統合するための重要な構成要素）の製造に用いるチタン酸ストロンチウム（STO）およびチタン酸バリウム（BTO）薄膜構造をウェハー上に成長させる予定である。
クロッグストロム氏は、研究開発用の最初の材料は年末までに準備が整うと述べた。現在、同氏と同僚らは、ウェハー製造、ダイシング、スライス装置を含む、完全なチップ製造インフラを構築している。このセンターは、パイロット生産ラインとチップ試作センターとして機能する。「ウェハー上に薄膜材料を迅速に製造し、関心のある企業にチップを提供できるようになります」と同氏は述べた。「同時に、最先端の構造を開発するための探索的研究も実施します。」
彼はさらに、「現在、我々は量子コンピューティングに必要な部品を構築するための適切な方法を見つけるまで、研究開発段階を継続していく。それが我々の主な焦点だ」と付け加えた。
クローグストルップ氏は、POEMテクノロジーセンターの革新技術がNQCPの耐障害性量子コンピューティング目標の達成を加速させると期待している。「NQCPには、ウェハ全体の構造を検証・特性評価できる大規模な自動特性評価スイートがあります。当社の材料および量子ビット特性評価チームは、材料特性と品質に関するフィードバックを迅速に提供できる手法を開発しました。したがって、これらの技術をPOEMと組み合わせることで、ローカルフォトニクスおよび量子チップ開発のための完全なクローズドループが実現します。」
デンマーク工科大学のナノファブリケーション・特性評価国立センター（DTU Nanolab）やNATO北大西洋防衛イノベーションアクセラレーター（DIANA）など、デンマークの主要機関が複数このプロジェクトに参加した。DIANAは、量子技術やフォトニック技術など、商用および防衛用途向けのデュアルパーパスのディープテクノロジーを支援している。「当社の光変調器やフォトニック集積回路の多くは、（商用）センサーやデータ処理に役立つだろう」とクロッグストロップ氏は述べた。
重要な点として、POEMテクノロジーセンターは、米国やアジアのチップへの依存度を低減しようとする欧州全体の取り組みと合致している。同様に、デンマークでは、ノボノルディスク財団とデンマーク輸出投資基金が共同でQuNorthプロジェクトに8,000万ユーロを投資し、デンマークの次世代量子コンピュータの確立を目指している。EUのチップ法に支えられ、多数の官民連携が生まれ、2030年までに世界の半導体生産における欧州のシェアを20%に倍増させることを目指している。今年7月、欧州委員会は量子設計センターや量子チップのパイロット生産ラインの設立を含む量子戦略を提案し、2030年までに欧州がこの分野で世界のリーダーとなることを目指している。
クロッグストロップ氏は、「誰を頼りにできるのか分からないこの不確実な時代において、私たちは皆、技術的な自立に関心を持っています。ヨーロッパに多数の（施設）を持つことは有益であり、集積フォトニクスの分野が急成長しているため、POEMは特に重要です」と述べた。
彼はさらに、「現在、ヨーロッパには、今後生産されるSTOおよびBTO材料の需要を満たすことができる生産ラインがありません。ベルギーのImecも生産ラインを拡張しており、この新たな生産能力は非常に有益となるでしょう」と述べた。
クローグストロム氏は、今後の展望として、POEMテクノロジーセンターがヨーロッパ各地の300mmウェハファウンドリと連携していくことを期待している。また、より遠方の300mmウェハファウンドリや、米国のGlobalFoundries、台湾のTSMCとも、先進フォトニクスや量子デバイス製造の分野で提携したいと考えている。「例えば、量子コンピュータの量産が始まれば、量子インターコネクトが重要な役割を果たすだろう」と彼は述べた。
そのため、NQCPのCEOと彼の同僚は、今から2030年まで、POEMテクノロジーセンターを真に国家レベルの高度な量子およびフォトニックチップのエコシステムに発展させることに専念する。「誰も単独ではできないので、私たちは（国際的な）エコシステムの一部として運営を続けていきます…しかし、300mmテクノロジーに関わるさまざまなステークホルダーやツール企業とより協力していきたいと考えています」とKrogstrop氏は述べた。「Riberは最初に参加した企業ですが、他の企業が来て最新の製品や最先端技術を開発できるような、より大きな（センター）を構築していきます。」
投稿日時：2025年11月24日